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设备名称
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方案特点
直线电机、DD马达结构 大理石安装底座 高速度、高响应 适用于2-12寸的晶圆检测 晶圆直线电机平台半导体行业应用: 晶圆的检测、划线、切割、分拣、焊接、封装键合等工艺
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