产品应用-广东智赢半导体技术有限公司

晶圆直线电机平台在检测设备工艺应用

SR8241-3101晶圆机器人在键合刻蚀设备工艺应用

EFEM在键合刻蚀设备工艺应用（2个Loadport）

SR8241-3101机器人在清洗镀膜设备工艺应用

双臂SR8220-1023机器人在涂胶显影设备工艺应用方案

EFEM在键合刻蚀设备工艺应用（4个Loadport）

双臂晶圆机器人在清洗镀膜设备工艺应用

匀胶马达DDA91在清洗设备工艺应用

晶圆机器人在检测设备工艺应用

NIDEC双臂晶圆机器人在高温炉管设备应用工艺

SR8241-3101机器人在研磨减薄设备工艺应用

SR8220-1024带翻转机器人在研磨减薄设备工艺应用

SR8220-1024机器人在研磨减薄设备工艺应用

匀胶DD马达在涂胶显影设备应用工艺方案

所属行业

晶圆直线电机平台在检测设备工艺应用

设备名称

晶圆直线电机平台

行业应用

晶圆直线电机平台在检测设备工艺应用

方案特点

直线电机、DD马达结构大理石安装底座高速度、高响应适用于2-12寸的晶圆检测晶圆直线电机平台半导体行业应用: 晶圆的检测、划线、切割、分拣、焊接、封装键合等工艺