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智赢晶圆机器人选型表
晶圆尺寸
裸晶圆
寸
铁环
寸
其他
寸
机器人
单臂
双臂
机器人翻转结构
上臂翻转
双臂翻转
无
Z轴行程
300mm
500mm
额定负载
1kg
其他
搬运距离
650mm-730mm
其他
旋转轴角度
≤340°
其他
手指类型
真空吸附
夹持式
无
手指材质
陶瓷
铝合⾦
碳纤维
环境洁净度
ISO Class 1
其他
使用温度
10°-40°
其他
使用气压
一般大气压
其他
Mapping sensor
有
无
寻边器
有
无
通讯方式
Ethernet
RS232
安装方式
底部安装
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