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产品应用
涂胶显影
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研磨减薄
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清洗镀膜
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高温炉管
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键合刻蚀
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检测设备
检测设备
NIDEC双臂晶圆机器人在高温炉管设备应用工艺
NIDEC双臂晶圆机器人在高温炉管设备应用工艺

NIDEC双臂晶圆机器人在高温炉管设备应用工艺

所属行业
NIDEC双臂晶圆机器人在高温炉管设备应用工艺
设备名称
NIDEC双臂晶圆机器人
行业应用
大气环境半导体晶圆高速搬运、适⽤于各种半导体设备、 EFEM、sorter、涂胶显影设备、清洗设备、检测设备等
方案特点
使用NIDEC双臂晶圆机器人、 手指实现6片或者10片同时取放、 兼容4-12寸晶圆、 定制化设计满足高冲程要求

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