400-019-0100
EN
CN EN
晶圆检测平台

晶圆检测平台

LXYR400x350
 

直线电机、DD马达结构

大理石安装底座

高速度、高响应

适用于2-12寸的晶圆检测

晶圆直线电机平台半导体行业应用: 晶圆的检测、划线、切割、分拣、焊接、封装键合等工艺

在线咨询
400-019-0100
服务热线
技术参数
尺寸结构
资料目录
CAD图纸
使用说明书
项⽬规范
额定负载
           15kg      
最大速度
           1m/s                  
最大加速度
           1G                  
X轴行程
           400mm             
Y轴行程
           350mm     
XY轴重复精度
           ±0.5um               
R轴重复精度
           ±2.5arcsec              
XY轴补偿后定位精度
           ±2um                   
R轴补偿后定位精度
           ±15Arc.sec               
智赢驱动器
          AKS-0062AAPDB                



图片.png