EFEM晶圆机器人

SR8241-3101

大搬送范围设计

独立双驱动系统实现2片同时取放

紧凑构造、占地面积小

支持真空吸附以及夹持取放片

具有多功能和可回旋手臂

3段ARM无需走型轴，对应4个Loadport平行排列

SR8241系列机器人行业应用:大气环境半导体晶圆高速搬运，用于清洗、镀膜、研磨、刻蚀等半导体设备、EFEM模块、检测设备等

400-019-0100

服务热线

技术参数

尺寸结构

资料目录

CAD图纸

使用说明书

项⽬	规范
晶圆尺寸	5轴(使用交流同服电机与ABS编码器) Z轴:带制动器的电机
工作范围	8寸~12寸晶圆
⼯作范围	翻转轴（deg）Roll1/2AXIS	+/-275
	X轴(mm) X AXIS	-750-+750
	Z轴(mm) Z AXIS	470
	θ轴（deg）Thete AXIS	+/-170
最⼤速度	翻转轴（rag/sec）Roll1/2AXIS	9.42
	X轴(rag/sec) X AXIS	2.44(1952mm/sec)
	Z轴(rag/sec) Z AXIS	720
	θ轴（rag/sec） Thete AXIS	6.54
手指间距	10mm
最大可搬运重量	2kg
重复精度	+/-0.05mm
本体重量	70kg
噪音等级	80分贝或更低
介电强度	AC 1500V, 持续⼀分钟（主电源与地⾯之间）
绝缘电阻	1M Qor以上(DC500V)
机器人材质	铝合金
手指类型	真空吸附/夹持结构
手指材质	陶瓷、碳纤维、铝合金等(根据要求定制)
工作电压	AC220V(1.2KVA)、DC24V( 1.2A) 、DC48V(3A)
通讯方式	EtherNet / RS232
控制器	SC5000

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