走行轴使用直线电机结构
运行实现高速、高精度、低噪音
走行轴可支持脉冲、EtherCAT通讯
可以定制任意长度走行轴，最长6m
结构可以灵活设计，满足不同的工况要求
支持水平或侧挂安装
R8220系列晶圆机器⼈应用大气环境半导体晶圆⾼速搬运、适用于各种半导体设备、EFEM、sorter、涂胶显影设备、清洗设备、检测设备等
