翻转轴晶圆机器人

SR8220R-1024

采用伺服电机作为翻转轴

翻转轴可根据要求调节速度

伺服电机绝对值编码器

可以实现真空吸附、夹持、伯努利形式的翻转

结构灵活，单臂、双臂翻转都可以实现

翻转轴晶圆机器人SR8220R-1024系列适合的晶圆制造的工艺有：晶圆的涂胶、贴膜、激光打标、清洗、研磨、去胶、显影、刻蚀等

400-019-0100

服务热线

技术参数

尺寸结构

晶片传感器

资料目录

CAD图纸

使用说明书

项⽬	规范
结构	5轴（使用交流伺服电机与ABS编码器） Z轴：带制动器的电机
晶圆尺寸	2寸~12寸晶圆
⼯作范围	R1轴	-302-+321mm
	R2轴	-302-+321mm
	Z轴	300mm/500mm
	翻转轴	-10~180deg
	θ轴	340deg
最⼤速度	R1轴	5.76 rad/sec
	R2轴	5.76 rad/sec
	Z轴	450 mm/sec
	θ轴	6.97 rad/sec
手指间距	60mm/80mm
最大有效负荷	1kg（包含⼿指的重量）
重复精度	±0.1mm(基于ISO 9283)
本体重量	80kg
洁净等级	ISO.Class1
噪音等级	80分贝或者更低
介电强度	AC 1500V，持续1分钟（主电源与地面之间）
绝缘电阻	1M Qor以上（DC500V）
机器人材质	铝合金
EE(End Effector 末端执行器)	陶瓷、碳纤维、铝合金等（根据要求定制）
工作电压	AC220V(1.2KVA)、DC24V( 1.2A) 、DC48V(3A)
通讯方式	EtherNet / RS232
气源	正压：0.4~0.5MPa 负压：低于-70KPa
控制器	SC5000

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